Евгений ЖдановРоссийский степпер на 130 нм: важный шаг без иллюзий
В России создан опытный образец степпера для производства микросхем по нормам 130 нм — важный шаг к восстановлению собственного оборудования для микроэлектроники, но до испытаний и серийного выпуска ещё далеко. Материал объясняет устройство установки, её значение для технологической независимости, проблемы с оптикой и материалами, а также стоимость дальнейшего перехода к более тонким нормам.
